专利简介

一种制备厚度可控氮化碳薄膜的合成装置

简介
本实用新型提供了一种制备厚度可控氮化碳薄膜的合成装置，包括底板、移动板、反应容器及基底板，移动板平行设置于底板的上方，移动板与底板能拆装地连接，移动板能沿垂直于底板的方向往复运动调整与底板之间的距离，反应容器与基底板均设于移动板与底板之间，反应容器的顶部形成有开口且反应容器的内部容置有前驱体，基底板盖设于反应容器的顶部的开口处，且基底板与移动板、底板平行。本实用新型提供的制备厚度可控氮化碳薄膜的合成装置能有效调整反应容器内反应物蒸汽逸出的量并控制反应容器内的压强，达到制备的氮化碳薄膜的厚度可控的效果。

简介

本实用新型提供了一种制备厚度可控氮化碳薄膜的合成装置，包括底板、移动板、反应容器及基底板，移动板平行设置于底板的上方，移动板与底板能拆装地连接，移动板能沿垂直于底板的方向往复运动调整与底板之间的距离，反应容器与基底板均设于移动板与底板之间，反应容器的顶部形成有开口且反应容器的内部容置有前驱体，基底板盖设于反应容器的顶部的开口处，且基底板与移动板、底板平行。本实用新型提供的制备厚度可控氮化碳薄膜的合成装置能有效调整反应容器内反应物蒸汽逸出的量并控制反应容器内的压强，达到制备的氮化碳薄膜的厚度可控的效果。