专利简介

样品台、微观观察装置和样品台调整方法

简介
本发明提供了一种样品台、微观观察装置和样品台调整方法，该样品台包括沿Z坐标轴方向依次连接的旋转电机(3)、旋转电机与水平直线电机连接模块(4)、水平直线电机(5)、水平直线电机滑块(6)、水平直线电机与垂直直线电机连接模块(7)、垂直直线电机(8)、垂直直线电机滑块(9)和载物台(12)。该样品台不但能够改变样品的空间位置，还能够与显微成像仪器，如扫描电子显微镜SEM、光学显微镜OM，原子力显微镜AFM等配套使用，对被测试件进行原位旋转操作以及观测。该样品台和微观观察装置的结构简单，对多种尺寸的试样都能进行测试，适应性较强，而且空间结构紧凑、便于观察。

简介

本发明提供了一种样品台、微观观察装置和样品台调整方法，该样品台包括沿Z坐标轴方向依次连接的旋转电机(3)、旋转电机与水平直线电机连接模块(4)、水平直线电机(5)、水平直线电机滑块(6)、水平直线电机与垂直直线电机连接模块(7)、垂直直线电机(8)、垂直直线电机滑块(9)和载物台(12)。该样品台不但能够改变样品的空间位置，还能够与显微成像仪器，如扫描电子显微镜SEM、光学显微镜OM，原子力显微镜AFM等配套使用，对被测试件进行原位旋转操作以及观测。该样品台和微观观察装置的结构简单，对多种尺寸的试样都能进行测试，适应性较强，而且空间结构紧凑、便于观察。